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〈111〉晶向标定方法及其在湿法刻蚀硅光栅中的应用
现代应用光学 | 更新时间：2020-08-13
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    • 〈111〉晶向标定方法及其在湿法刻蚀硅光栅中的应用

    • Calibration method of silicon 〈111〉 orientation and its application in fabrication of silicon grating by anisotropic wet etching

    • 梁榉曦 ，郑衍畅 ，邱克强 ，刘正坤 ，徐向东 ，洪义麟
    • 光学 精密工程 2018年26卷第1期 页码：1-7

    • DOI： 10.3788/OPE.20182601.0001     

      中图分类号：

    • 录用：2017-9-30 ，

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