脉冲激光沉积薄膜的残余应力测量

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

脉冲激光沉积薄膜的残余应力测量

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-13

上一篇|下一篇

- 脉冲激光沉积薄膜的残余应力测量
- Measurement of residual stresses in pulsed laser deposited thin films
- 董恺琛，娄帅，姚杰，吴军桥，尤政
- 光学精密工程 2018年26卷第1期页码：70-76
- 作者机构：
  1.清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京市未来芯片技术高精尖创新中心, 北京 100084
  2.美国加州大学伯克利分校材料科学与工程系, 伯克利 94720
  3.美国劳伦斯伯克利国家实验室材料科学部, 伯克利 94720
- 作者简介：
  董恺琛(1989-), 男, 黑龙江哈尔滨人, 博士研究生, 2012年于清华大学获得学士学位, 主要从事微机电系统技术的研究。E-mail:dkc12@mails.tsinghua.edu.cn
  尤政(1963-), 男, 江苏扬州人, 教授, 中国工程院院士, 长江学者, 主要研究领域为微米/纳米技术、微光机电系统集成、微纳卫星技术。E-mail:yz-dpi@mail.tsinghua.edu.cn
- 基金信息：
  中国国家留学基金资助项目(201406210211)
- DOI： 10.3788/OPE.20182601.0070
  中图分类号：
- 录用：2017-8-31 ，
- 稿件说明：
移动端阅览
DOI：
DOI：

HTML全文
图( 9 ) 表( 0 )
参考文献
出版信息
数据统计

摘要

Abstract

关键词

Keywords

references

541

浏览量

779

下载量

2

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

BibTeX下载
Endnote下载
RefMan 下载
NoteExpress下载
NoteFirst下载

关联资源

相关文章

压力传感器波纹膜片低应力激光焊接工艺

单晶硅激光辅助超精密切削工艺优化与表面特性

双通道MEMS微波功率传感器的匹配特性

采用单位激励影响矩阵数值计算的瑞奇-康芒检测技术

7075铝合金厚板淬火残余应力的测试与分析

相关作者

许佳豪

朱敏杰

刘帅

陈凡红

杜晓辉

许剑锋

张建国

佘中迪

相关机构

南昌航空大学

机械工业仪器仪表综合技术经济研究所

国家数字化设计与制造创新中心

华中科技大学机械科学与工程学院

湖北工业大学机械工程学院

AI问答