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尺蠖式直线微驱动器的设计
尺蠖式直线微驱动器的设计
A novel inchworm linear micro actuator
- 光学 精密工程 2018年26卷第1期 页码：122-131
DOI： 10.3788/OPE.20182601.0122
录用：2017-7-6
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