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磁悬浮分子泵用Hartley涡流传感器
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-07-05
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    • 磁悬浮分子泵用Hartley涡流传感器

    • Hartley eddy current sensor used in maglev molecular pump

    • 王坤 ，张利胜 ，陈少华 ，韩邦成
    • 光学 精密工程 2018年26卷第2期 页码：344-354

    • DOI： 10.3788/OPE.20182602.0344     

      中图分类号：

    • 录用：2017-10-9 ，

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