X轴分离式高速原子力显微镜系统设计

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微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-07-05

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- X轴分离式高速原子力显微镜系统设计
- Design of high-speed atomic force microscope with a separated X-scanner
- 刘璐，胡晓东，庞海，胡小唐
- 光学精密工程 2018年26卷第3期页码：662-671
- 作者机构：
  1.天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072
  2.天津大学理学院, 天津 300072
- 作者简介：
  刘璐(1991-), 女, 山东菏泽人, 博士研究生, 2011年和2014年先后在兰州理工大学和天津大学获得学士、硕士学位, 主要从事原子力显微镜的硬件开发工作。E-mail:dgliulu@tju.edu.cn
  胡晓东(1974-), 男, 江西新余人, 教授, 分别于1995年和2000年在天津大学获得学士、博士学位, 主要从事微纳测试技术研究及仪器化工作。E-mail:xdhu@tju.edu.cn
- 基金信息：
  国家自然科学基金资助项目(61204117);国家重点研发计划资助项目(2017YFF0105905)
- DOI： 10.3788/OPE.20182603.0662
  中图分类号：
- 录用：2017-8-26 ，
- 稿件说明：
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