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采用单位激励影响矩阵数值计算的瑞奇-康芒检测技术
采用单位激励影响矩阵数值计算的瑞奇-康芒检测技术
Ritchey-Common interferometry using unit-excitation influence matrix's numerical calculation method
- 光学 精密工程 2018年26卷第4期 页码:771-777
DOI: 10.3788/OPE.20182604.0771
录用:2018-1-9
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清华大学 精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室 北京市未来芯片技术高精尖创新中心
美国加州大学 伯克利分校 材料科学与工程系, 伯克利
美国劳伦斯伯克利国家实验室 材料科学部, 伯克利
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 超精密光学工程研究中心


