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高回转精度多阶柱状微电极电化学高效制备试验研究
高回转精度多阶柱状微电极电化学高效制备试验研究
Experimental research on high-efficiency electrochemical machining of multi-stepped cylindrical microelectrode with high rotating precision
- 光学 精密工程 2018年26卷第4期 页码：857-865
DOI： 10.3788/OPE.20182604.0857
录用：2017-10-9
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相关作者
李佩铮
杜雪
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广东工业大学 精密电子制造技术与装备国家重点实验室
香港理工大学 工业与系统工程学系 超精密加工技术国家重点实验室
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