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大面积纳米压印光刻晶圆级复合软模具制造
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-07-05
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    • 大面积纳米压印光刻晶圆级复合软模具制造

    • Wafer-level composite mold for large-area nanoimprint lithography

    • 兰红波 ，郭良乐 ，许权 ，钱垒
    • 光学 精密工程 2018年26卷第4期 页码：894-905

    • DOI： 10.3788/OPE.20182604.0894     

      中图分类号：

    • 录用：2017-9-9 ，

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