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适用于光黏工艺的干涉仪公差保证方法
适用于光黏工艺的干涉仪公差保证方法
Tolerance assurance of interferometer for optical HCB process
- 光学 精密工程 2018年26卷第8期 页码:1945-1953
DOI: 10.3788/OPE.20182608.1945
录用:2018-7-23
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相关作者
王启宇
冯金扬
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粟多武
吴书清
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相关机构
中国计量科学研究院
中国科学院大学
北京航空航天大学
广东工业大学 广东省微纳加工技术与装备重点实验室
国家计量中心 新加坡科技研究局


