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靶准直器悬臂Y向调整机构受力和变形研究
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-08-13
    • 靶准直器悬臂Y向调整机构受力和变形研究

    • On force and deformation of cantilever Y adjustment mechanism of target alignment sensor

    • 章亚男 ,景玲玲 ,朱寒雨 ,沈林勇 ,钱晋武
    • 光学 精密工程 2018年26卷第8期 页码:2030-2038
    • DOI: 10.3788/OPE.20182608.2030     

      中图分类号:
    • 录用:2018-1-12 ,

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