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基于蒙特卡罗法的MEMS测力计不确定性分析
更新时间：2020-08-13
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    • 基于蒙特卡罗法的MEMS测力计不确定性分析

    • Uncertainty analysis of MEMS force gauges based on Monte Carlo method

    • 韩琪 ，陈贵敏
    • 光学 精密工程 2018年26卷第9期 页码：2289-2293

    • DOI： 10.3788/OPE.20182609.2289     

      中图分类号：

    • 录用：2018-4-16 ，

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