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微机电火工品薄膜结构换能元
更新时间：2020-08-13
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    • 微机电火工品薄膜结构换能元

    • Film structureenergy conversion components for MEMS initiators

    • 任炜 ，赵玉龙 ，褚恩义 ，张彬 ，李慧
    • 光学 精密工程 2018年26卷第9期 页码：2319-2325

    • DOI： 10.3788/OPE.20182609.2319     

      中图分类号：

    • 录用：2018-2-10 ，

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陈斐璐
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上海大学 精密机械工程系
东南大学 MEMS教育部重点实验室
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室
中国科学院 研究生院
重庆大学光电工程学院 光电技术及系统教育部重点实验室