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新型悬丝约束支撑微纳测头的变刚度特性分析
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-13
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    • 新型悬丝约束支撑微纳测头的变刚度特性分析

    • Variable stiffness characteristic analysis of a novel micro-nano probe with wire constraint suspension

    • 李保坤 ，刘向阳 ，杨洪涛 ，吴耀东
    • 光学 精密工程 2019年27卷第2期 页码：402-409

    • DOI： 10.3788/OPE.20192702.0402     

      中图分类号：

    • 录用：2018-9-16 ，

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