基于离子束溅射Ta2O5薄膜的紫外吸收膜技术

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

基于离子束溅射Ta₂O₅薄膜的紫外吸收膜技术

现代应用光学 | 更新时间：2020-08-13

上一篇|下一篇

- 基于离子束溅射Ta₂O₅薄膜的紫外吸收膜技术
- Ultraviolet absorption film technology based on ion beam sputtering Ta₂O₅ thin films
- 姜玉刚，刘华松，陈丹，王利栓，李士达，刘丹丹，姜承慧，季一勤
- 光学精密工程 2019年27卷第3期页码：527-532
- 作者机构：
  1.天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室，天津 300308
  2.光电材料智能表面织构技术联合实验室，天津 300308
- 作者简介：
  姜玉刚(1985-)，男，安徽霍邱人，博士，高级工程师，2011年于哈尔滨工业大学获得博士学位，主要从事低损耗光学薄膜及固体激光薄膜的设计、制备与表征技术的研究。E-mail: jygang_4089@163.com
  刘华松(1980-)，男，辽宁阜新人，博士，研究员，2011年于同济大学获得博士学位，主要从事光学薄膜的设计、制备与表征技术，以及光学薄膜材料物理方面的研究。E-mail: liuhuasong@hotmail.com
- 基金信息：
  国家自然科学基金资助项目(61705165);国家自然科学基金资助项目(61775167);国家自然科学基金资助项目(51702231);国家自然科学基金资助项目(61235011);天津市自然科学基金资助项目(18JCZDJC37900)
- DOI： 10.3788/OPE.20192703.0527
  中图分类号：
- 录用：2018-12-20 ，
- 稿件说明：
移动端阅览
DOI：
DOI：

HTML全文
图( 8 ) 表( 0 )
参考文献
出版信息
数据统计

摘要

Abstract

关键词

Keywords

references

569

浏览量

20

下载量

0

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

BibTeX下载
Endnote下载
RefMan 下载
NoteExpress下载
NoteFirst下载

关联资源

相关文章

基于离子束溅射Ta2O5薄膜的紫外吸收膜技术

高性能大尺寸X射线多层膜反射元件研制进展

用于中子小角散射的中子反射镜聚焦性能评价

真空紫外Al/MgF2反射镜

氮气反应溅射制备软X射线Co/Ti多层膜

相关作者

姜玉刚刘华松陈丹王利栓李士达刘丹丹姜承慧季一勤

王占山

张众

庄野琪

张云学

蒋励

李文斌

张哲

相关机构

同济大学物理科学与工程学院，先进微结构材料教育部重点实验室，精密光学工程技术研究所

大连理工大学机械工程学院

大连理工大学宁波研究院

同济大学物理科学与工程学院教育部先进微结构材料重点实验室

同济大学物理科学与工程系精密光学工程技术研究所

AI问答