复杂图案轮廓曝光版图的生成及工艺实现

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微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-13

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- 复杂图案轮廓曝光版图的生成及工艺实现
- Realization of complex patterns via "sketch and peel" lithography
- 段辉高，戴彭，张轼，陈艺勤，石惠民，林子豪，周艳明
- 光学精密工程 2019年27卷第3期页码：584-593
- 作者机构：
  1.湖南大学机械与运载工程学院，湖南长沙 410082
  2.湖南大学物理与微电子科学学院，湖南长沙 410082
- 作者简介：
  段辉高(1982-)，男，湖南衡阳人，教授，博士生导师，2004年、2010年于兰州大学分别获得学士、博士学位，主要从事微纳制造、微纳光学器件的精密和超精密加工等方面的研究。E-mail: duanhg@hnu.edu.cn
  戴彭(1992-)，男，湖南岳阳人，硕士研究生，2015年于湘潭大学获得学士学位，主要从事微纳光学方面的研究。E-mail: pengdai@hnu.edu.cn
- 基金信息：
  国家自然科学基金优秀青年基金资助项目(51722503)
- DOI： 10.3788/OPE.20192703.0584
  中图分类号：
- 录用：2018-11-27 ，
- 稿件说明：
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