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压电微定位台的率相关动态迟滞建模及参数辨识
压电微定位台的率相关动态迟滞建模及参数辨识
Rate-dependent dynamic hysteresis modeling of piezoelectric micro platform and its parameter identification
- 光学 精密工程 2019年27卷第3期 页码：610-618
DOI： 10.3788/OPE.20192703.0610
录用：2018-10-21
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