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电容式环形微机电振动陀螺的设计
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-13
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    • 电容式环形微机电振动陀螺的设计

    • Development of capacitive MEMS vibrating ring gyroscope

    • “新闻播报：在微机电系统领域，研究人员成功提出了一种新型电容式环形微机电振动陀螺。该陀螺具备结构对称、模态特性参数相同及抗干扰性强的特点。研究团队设计了硅基敏感结构，并建立了电学参数与角速度敏感模型。实验结果显示，该陀螺谐振频率稳定，品质因数高，为高性能硅基微机电陀螺的研制提供了可行的方案。”
    • 寇志伟 ，曹慧亮 ，石云波 ，张英杰
    • 光学 精密工程 2019年27卷第4期 页码：842-848

    • DOI： 10.3788/OPE.20192704.0842     

      中图分类号：

    • 录用：2018-10-16 ，

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