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计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-08-13
    • 计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动

    • Micro-nanometer scale vibration in imaging of metrological scanning electron microscope

    • “在计量型扫描电镜位移系统领域,专家通过仿真分析,深入研究了机械位移台的振动参数。通过静力及模态分析,获取了机械位移台的结构振动特性;进一步进行谐响应分析,揭示了外界载荷频率与位移台应力、应变、变形及加速度的关系。研究结果显示,机械位移台在特定频率下存在危险振动,需在后续改进中避免并进行位移补偿。”
    • 杜晨辉 ,龚亮 ,蔡小勇 ,殷伯华 ,江潮
    • 光学 精密工程 2019年27卷第4期 页码:860-867
    • DOI: 10.3788/OPE.20192704.0860     

      中图分类号:
    • 录用:2019-1-2 ,

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