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压电驱动的超声悬浮精密轴承静动态承载特性
压电驱动的超声悬浮精密轴承静动态承载特性
Static and dynamic load capacity of piezoelectric actuated ultrasonic levitation precision bearing
- 光学 精密工程 2019年27卷第5期 页码:1103-1109
DOI: 10.3788/OPE.20192705.1103
录用:2019-1-7
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