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基于硅各向同性腐蚀工艺的三维曲面壳体微谐振器制备技术
生命科学仪器 | 更新时间：2020-08-13
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    • 基于硅各向同性腐蚀工艺的三维曲面壳体微谐振器制备技术

    • Fabrication of microscale axial symmetric three-dimensional curved shell resonators based on silicon isotropic wet etching

    • 庄须叶 ，陈丙根 ，李平华 ，王新龙 ，曹卫达 ，丁景兵
    • 光学 精密工程 2019年27卷第6期 页码：1293-1300

    • DOI： 10.3788/OPE.20192706.1293     

      中图分类号：

    • 录用：2019-2-16 ，

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