全视场外差干涉三维测量系统

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现代应用光学 | 更新时间：2020-08-13

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- 全视场外差干涉三维测量系统
- Three-dimensional measurement system based on full-field heterodyne interferometry
- 尚万祺，张文喜，伍洲，李杨，孔新新
- 光学精密工程 2019年27卷第10期页码：2097-2104
- 作者机构：
  1.中国科学院计算光学成像技术重点实验室，北京 100094
  2.中国科学院大学光电学院，北京 100049
- 作者简介：
  尚万祺(1993-)，男，天津人，硕士研究生，2015年于合肥工业大学获得学士学位，主要从事光学三维检测的研究。E-mail：shangwanqi16@mails.ucas.edu.cn
  张文喜(1979-)，男，安徽宿州人，博士生导师，研究员，2003年于中国科学技术大学获得学士学位，2006年于中国科学院西安光学与精密机械研究所获得硕士学位，2014年于中国科学院大学获得博士学位，主要从事干涉测量技术的研究。E-mail：zhangwenxi@aoe.ac.cnZHANG Wen-xi, E-mail: zhangwenxi@aoe.ac.cn
- 基金信息：
  国家自然科学基金青年科学基金资助项目(61605217);中国科学院青年创新促进会资助项目(2015127)
- DOI： 10.3788/OPE.20192710.2097
  中图分类号：
- 录用：2019-6-4 ，
- 稿件说明：
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