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透射光栅位移传感器中光栅副Yaw向夹角误差的影响和监测
现代应用光学 | 更新时间：2020-08-13
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    • 透射光栅位移传感器中光栅副Yaw向夹角误差的影响和监测

    • Influence and monitoring of yaw angle error of grating pair in transmission grating displacement sensor

    • 王笑一 ，户璐卿 ，雷贤卿 ，左孝林 ，王永军 ，郭阳阳
    • 光学 精密工程 2019年27卷第10期 页码：2154-2164

    • DOI： 10.3788/OPE.20192710.2154     

      中图分类号：

    • 录用：2019-2-18 ，

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