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双角度编码器超精密转台测角误差校准
双角度编码器超精密转台测角误差校准
Calibration of angular errors of high-precision rotary table with two-angle encoders
- 光学 精密工程 2019年27卷第10期 页码:2180-2191
DOI: 10.3788/OPE.20192710.2180
录用:2019-5-21
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国家机床产品质量监督检验中心(四川)
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所
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