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双测头复合型微纳米测量仪的研制
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-07-16
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    • 双测头复合型微纳米测量仪的研制

    • Development of double probe composite micro-and nano measuring instrument

    • 吴俊杰 ，刘俭 ，魏佳斯 ，傅云霞
    • 光学精密工程 2020年28卷第2期 页码：415-423

    • DOI： 10.3788/OPE.20202802.0415     

      中图分类号：

    • 录用：2019-9-21 ，

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