基于飞秒激光的可运动微结构加工与旋转驱动

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基于飞秒激光的可运动微结构加工与旋转驱动

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2023-04-18

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- 基于飞秒激光的可运动微结构加工与旋转驱动
- Fabrication and rotation driving of movable microstructures based on femtosecond laser
- 袁宏伟，饶生龙，吴东，李家文，胡衍雷
- 光学精密工程 2020年28卷第3期页码：584-590
- 作者机构：
- 作者简介：
  袁宏伟 (1994-)，男，硕士研究生，主要从事毛细力自组装和微驱动方面的研究。E-mail：sa179061@mail.ustc.edu.cn
- 基金信息：
  国家自然科学基金资助项目(No.51875544);国家自然科学基金资助项目(No.91963127);国家自然科学基金资助项目(No.51675503);国家自然科学基金资助项目(No.51805509);统筹推进世界一流大学和一流学科建设专项资金资助(No.YD2090002005);中国科学院青年创新促进会资助项目(No.2017495)
- DOI： 10.3788/OPE.20202803.0584
  中图分类号：
- 修回：2020-1-15 ，
  录用：2020-1-15 ，
- 稿件说明：
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