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大高宽比光栅的摇床式辅助显影工艺
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2023-04-18
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    • 大高宽比光栅的摇床式辅助显影工艺

    • Optimization of development process for fabrication of high aspect ratio gratings

    • 王艺 ，侯双月 ，熊瑛 ，田扬超 ，刘刚
    • 光学 精密工程 2020年28卷第3期 页码：632-638

    • DOI： 10.3788/OPE.20202803.0632     

      中图分类号：

    • 修回：2019-11-11 ，

      录用：2019-11-11 ，

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