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超声电机速度与位置的高精度控制
超声电机速度与位置的高精度控制
High-precision control algorithm for velocity and position of ultrasonic motor
- 光学 精密工程 2020年28卷第4期 页码:790-799
DOI: 10.3788/OPE.20202804.0790
修回:2020-3-12 ,
录用:2020-3-12
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