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基于数字微镜器件的并行彩色共聚焦测量系统
基于数字微镜器件的并行彩色共聚焦测量系统
Parallel chromatic confocal measurement system based on digital micromirror device
- 光学 精密工程 2020年28卷第4期 页码：859-866
DOI： 10.3788/OPE.20202804.0859
修回：2020-1-7 ，
录用：2020-1-7
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