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基于光强实时反馈控制和同步校准的波长调谐移相干涉系统
基于光强实时反馈控制和同步校准的波长调谐移相干涉系统
Wavelength-tuned phase-shifting interference system based on optical power real-time feedback and synchronous calibration
- 光学 精密工程 2020年28卷第4期 页码:878-884
DOI: 10.3788/OPE.20202804.0878
修回:2019-10-20 ,
录用:2019-10-20
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