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图像式角位移测量的光栅偏心度监测系统
图像式角位移测量的光栅偏心度监测系统
Grating eccentricity monitoring system for image-based angular displacement measurement
- 光学 精密工程 2020年28卷第5期 页码:1038-1045
DOI: 10.3788/OPE.20202805.1038
修回:2020-1-13 ,
录用:2020-1-13
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