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四质量高频三轴MEMS陀螺设计及制造
更新时间:2025-05-30
    • 四质量高频三轴MEMS陀螺设计及制造

    • Design and Fabrication of a Quad-Mass High-Frequency Triaxial MEMS Gyroscope

    • “报道:最新研究突破,四质量高频三轴MEMS陀螺问世,尺寸仅3mm×2.56mm,谐振频率高达30kHz,为高频三轴MEMS陀螺研制提供新方案。”
    • 魏雯强 ,田慧敏 ,蔡麒 ,崔让 ,李豪冉 ,曹慧亮
    • 光学精密工程 2025年 页码:1-12
    • 修回:2025-03-25 ,

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相关作者

曹慧亮
魏雯强
刘军辉
李耀
程世利
康升征
杨小龙
吴洪涛

相关机构

北京理工大学 集成电路与电子学院
南京航空航天大学 机电学院
盐城工学院 汽车工程学院
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所空间机器人系统创新研究室
南京航空航天大学 机械结构力学及控制国家重点实验室