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四质量高频三轴MEMS陀螺设计及制造
四质量高频三轴MEMS陀螺设计及制造
Design and Fabrication of a Quad-Mass High-Frequency Triaxial MEMS Gyroscope
- “报道:最新研究突破,四质量高频三轴MEMS陀螺问世,尺寸仅3mm×2.56mm,谐振频率高达30kHz,为高频三轴MEMS陀螺研制提供新方案。”
- 光学精密工程 2025年 页码:1-12
修回:2025-03-25
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