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微束斑RHEED类平行束电子枪设计
更新时间：2025-05-30
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    • 微束斑RHEED类平行束电子枪设计

    • Design of a quasi-parallel beam electron gun with micro beam spot for Reflection High Energy Electron Diffraction

    • “在微电子制造与表面分析领域，专家研制了微束斑RHEED类平行束电子枪，分析电子光学系统特性，仿真设计低像差聚焦透镜，搭建实验平台进行性能测试，获得清晰的衍射斑点。”
    • 赵伟霞 ，史丽娜 ，刘俊标 ，殷伯华 ，韩立
    • 光学精密工程 2025年 页码：1-13

    • 修回：2025-05-15 ，

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