大面积纳米压印技术及其器件应用

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微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-12

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- 大面积纳米压印技术及其器件应用
- Large-area nanoimprint lithography： processes and device applications
- 高晓蕾，陈艺勤，郑梦洁，段辉高
- 光学精密工程 2022年30卷第5期页码：555-573
- 作者机构：
  1.湖南大学机械与运载工程学院国家高效磨削工程技术研究中心，湖南长沙 410082
  2.东南大学江苏省微纳生物医疗器械设计与制造重点实验室，江苏南京 211189
  3.季华实验室，广东佛山 528000
- 作者简介：
  高晓蕾（1997-），女，河北石家庄人，硕士研究生，2019年于南京师范大学获得学士学位，主要从事纳米加工与力学制造的研究。E-mail： gaoxiaolei@hnu.edu.cn
  陈艺勤（1988-），男，湖南永州人，助理教授，硕士生导师，2017年于湖南大学获得博士学位，主要从事芯片制造、微纳制造、先进制造等方面的研究。E-mail： chenyiqin@hnu.edu.cn
- 基金信息：
  国家自然科学基金资助项目(51805160;12104182);广东省基础与应用基础研究基金区域联合基金项目(2020A1515110971);东南大学江苏省微纳生物医疗器械设计与制造重点实验室开放研究基金资助课题(KF202001)
- DOI： 10.37188/OPE.20223005.0555
  中图分类号：
- 修回：2021-08-15 ，
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