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基于主动惯量补偿的高性能压电旋转驱动器
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 基于主动惯量补偿的高性能压电旋转驱动器

    • High performance piezoelectric rotary actuator based on active inertia compensation

    • “研究人员提出了一种基于主动惯量补偿的新型压电旋转驱动器设计，通过主动惯量补偿和驱动电压时序优化抑制小惯量动子回退运动，实验表明该方法可抑制79.77%的回退角度，最小分辨率达1.12 μrad，最大转速达813.85 mrad/s，为微纳操作等超精密领域提供了高性能解决方案。”
    • 于海洋 ，闫鹏 ，孟令臣
    • 光学精密工程 2025年33卷第10期 页码：1571-1583

    • DOI： 10.37188/OPE.20253310.1571     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20253310.1571     

    • 修回：2025-03-04 ，

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