“针对现有快刀伺服机构难以满足非回转类微结构阵列元件加工需求，将超磁致伸缩驱动器与电主轴集成，提出了一种面向电主轴的微结构精密加工机构的设计方案，为解决复杂微结构元件的加工提供了一种方案。研究团队建立了电-磁-机多场耦合模型和力感知模型，实验验证该机构输出位移可达26.2 μm、推力达22 N，表明该设计方案可行。”