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微束斑RHEED类平行束电子枪设计
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 微束斑RHEED类平行束电子枪设计

    • Design of a quasi-parallel beam electron gun with micro beam spot for Reflection High Energy Electron Diffraction

    • “针对高分辨率反射式高能电子衍射仪在微电子制造与表面分析领域的应用需求，研制了微束斑的RHEED类平行束电子枪，采用电子光学仿真软件仿真设计了低像差聚焦透镜，搭建了实验平台对研制的电子枪进行了束斑直径、束流和束半角性能测试与高定向热解石墨样品的衍射成像测试，为解决RHEED高分辨检测难题提供解决方案。”
    • 赵伟霞 ，史丽娜 ，刘俊标 ，殷伯华 ，韩立
    • 光学精密工程 2025年33卷第12期 页码：1876-1888

    • DOI： 10.37188/OPE.20253312.1876     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20253312.1876     

    • 修回：2025-05-15 ，

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