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四质量高频三轴MEMS陀螺设计及制造
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 四质量高频三轴MEMS陀螺设计及制造

    • Design and fabrication of a quad-mass high-frequency triaxial MEMS gyroscope

    • “针对现有单片三轴陀螺抗干扰能力弱、体积大的特点，介绍了其在高频MEMS陀螺领域的研究进展，研究人员设计了一种四质量高频三轴MEMS陀螺，通过多目标遗传算法优化及三晶圆键合技术制造，验证了设计及研究方法的正确性，为高频三轴MEMS陀螺的研制提供了一种可行的方案。”
    • 魏雯强 ，田慧敏 ，蔡麒 ，崔让 ，李豪冉 ，曹慧亮
    • 光学精密工程 2025年33卷第12期 页码：1916-1928

    • DOI： 10.37188/OPE.20253312.1916     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20253312.1916     

    • 修回：2025-03-25 ，

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