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极紫外光学元件全频段面形误差检测与缺陷探测技术研究进展
现代应用光学 | 更新时间：2026-09-11
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    • 极紫外光学元件全频段面形误差检测与缺陷探测技术研究进展

    • Research progress of full-spatial frequency error measurement and defect detection technology for extreme ultraviolet optical components

    • “极紫外光刻作为半导体制造领域的核心技术，对光学元件表面质量提出了原子级精度的严苛要求，并要求光学元件近乎为零的表面亚表面损伤，介绍了其在光学元件超精密制造领域的研究进展，专家剖析了不同空间尺度误差检测的技术挑战，展望了检测技术向智能化、多物理场耦合表征及原位监测等方向的发展趋势，为关键装备部件国产化提供技术参考。”
    • 李佳慧 ，匡翠方 ，徐月暑 ，卞殷旭 ，梁佳栋 ，崔玉栋 ，刘旭
    • 光学精密工程 2025年33卷第17期 页码：2661-2690

    • DOI： 10.37188/OPE.20253317.2661     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20253317.2661     

    • 修回：2025-07-29 ，

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