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弱耦合谐振式超高灵敏度微力传感器
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 弱耦合谐振式超高灵敏度微力传感器

    • Weakly coupled resonant ultra-high sensitivity micro-force sensor

    • “"该研究验证了弱耦合谐振式微力传感器结构方案的可行性，为超高灵敏度微力测量提供了新的思路"，介绍了其在微力测量领域的研究进展，研究团队研制出基于模态局部化技术的弱耦合谐振式微力传感器，相对灵敏度超135.05×10⁻⁶μN⁻¹，分辨力优于30μN，为超高灵敏度微力测量开辟了新方向。”
    • 王徐康 ，黄强先 ，郭天武 ，程荣俊 ，李红莉 ，张连生
    • 光学精密工程 2025年33卷第23期 页码：3714-3722

    • DOI： 10.37188/OPE.20253323.3714     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20253323.3714     

    • 修回：2025-07-18 ，

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