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细束径离子束变去除函数加工工艺及补偿
现代应用光学 | 更新时间：2026-09-11
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    • 细束径离子束变去除函数加工工艺及补偿

    • Machining process and compensation for variable removal function with fine-diameter ion beams

    • “"为了实现离子束对高精度光学表面的确定性加工，加强对加工过程中离子束去除函数的精确控制，建立细束径离子束的变去除函数补偿模型"，介绍了其在高精度光学加工领域的研究进展，该团队建立了变去除函数补偿体系，验证了驻留时间与进给速度对去除速率的影响规律，为提高细束径离子束加工稳定性与收敛率提供了解决方案。”
    • 毛旭 ，张峰 ，唐瓦 ，胡海翔 ，季鹏 ，张学军
    • 光学精密工程 2026年34卷第3期 页码：353-364

    • DOI： 10.37188/OPE.20263403.0353     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20263403.0353     

    • 修回：2025-12-29 ，

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相关机构

中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学, 北京 100049
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室
中国科学院 研究生院
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所