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基于多测头的反射镜面形检测
现代应用光学 | 更新时间：2026-09-11
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    • 基于多测头的反射镜面形检测

    • Mirror surface shape measurement based on multiple probes

    • “研究团队针对光学元件研磨阶段检测难题，提出多测头非接触式面形检测方法，通过三测头两两差分抑制机床导轨运动误差，并将位移差分量转换为被测面局部斜率信息，再基于Zernike多项式的斜率拟合与面形重建原理，利用最小二乘拟合由斜率场反演得到全口径面形，为光学元件研磨阶段的高精度面形检测提供了一种易于工程实现的解决方案。”
    • 曲梓浩 ，王孝坤 ，蔡梦雪 ，戚二辉 ，赵映景 ，刘忠凯 ，王玉坤 ，薛栋林 ，张学军
    • 光学精密工程 2026年34卷第5期 页码：701-710

    • DOI： 10.37188/OPE.20263405.0701     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20263405.0701     

    • 修回：2026-01-13 ，

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