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外延展螺旋形绝对式时栅角位移传感原理及器件
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 外延展螺旋形绝对式时栅角位移传感原理及器件

    • Absolute angular displacement sensing principle and sensors based on time grating with extended spiral

    • “外延展螺旋形绝对式时栅角位移传感方法，采用"定位+测量"组合的测量方法实现绝对角位移测量，为解决传统绝对式角位移传感器的绝对编码和超精密光刻加工问题提供解决方案，为恶劣环境下的角位移测量开辟了新方向。”
    • 陈自然 ，张子仪 ，郑永海 ，何智颖 ，史立业 ，何志林 ，杨旭
    • 光学精密工程 2026年34卷第5期 页码：784-793

    • DOI： 10.37188/OPE.20263405.0784     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20263405.0784     

    • 修回：2026-01-28 ，

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