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​​大深径比微孔几何参数视觉检测
现代应用光学 | 更新时间：2026-09-11
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    • ​​大深径比微孔几何参数视觉检测

    • Visual detection for geometric parameters of high aspect ratio micro-holes

    • “针对传统激光共聚焦显微镜成本较高，传统机器视觉方法受限于孔底照明不均、成像模糊及特征提取困难等问题，开发了一种基于同轴光源照明的机器视觉自动测量系统，介绍了其在精密制造领域的研究进展，该团队建立了大深径比微孔几何参数高效高精度测量体系，为解决微结构质量控制高成本问题提供解决方案。”
    • 田安宇 ，刘研 ，葛洲 ，江宇辰 ，于瀛洁 ，夏新星
    • 光学精密工程 2026年34卷第7期 页码：1057-1067

    • DOI： 10.37188/OPE.20263407.1057     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20263407.1057     

    • 修回：2026-02-17 ，

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