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光学元件六自由度位姿高精度检测方法
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 光学元件六自由度位姿高精度检测方法

    • High-precision measurement method for 6-DOF pose of optical components

    • “针对光刻机、精密装配及空间光学系统等领域中对光学元件位姿进行纳米级位移与微弧度级角度高精度测量的需求，以及现有方法在实现多自由度同步、集成化测量方面的不足，该研究团队提出并验证了一种基于多通道差分激光干涉的测量系统，为解决光学元件六自由度位姿同步测量难题提供解决方案。”
    • 刘昊天 ，曾雪锋 ，李雯研 ，王灵杰 ，张学军
    • 光学精密工程 2026年34卷第8期 页码：1232-1244

    • DOI： 10.37188/OPE.20263408.1232     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20263408.1232     

    • 修回：2026-02-03 ，

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