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基于抗磁悬浮的微型平面电机驱控设计
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 基于抗磁悬浮的微型平面电机驱控设计

    • Diamagnetic levitation-based micro planar motor drive design

    • “研究人员提出一种面向永磁体阵列的单面驱动三自由度微型平面电机，"实现了结构简化与多自由度解耦控制的统一设计"，体积缩小逾一个数量级，为高精度微定位应用开辟了新方向。”
    • 张鹤 ，施至超 ，朱志伟
    • 光学精密工程 2026年34卷第8期 页码：1255-1267

    • DOI： 10.37188/OPE.20263408.1255     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20263408.1255     

    • 修回：2026-03-03 ，

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