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光子晶体激光器掩埋纳米孔结构自动量取
现代应用光学 | 更新时间:2026-09-11
    • 光子晶体激光器掩埋纳米孔结构自动量取

    • Automatic measurement for buried nano-hole structures in photonic crystal lasers

    • “面向PCSEL截面SEM图像的孔结构自动识别与几何量取方法,基于语义分割模型实现孔区域自动识别,为PCSEL掩埋型纳米孔结构的尺寸评估与工程化过程监控提供了实用技术手段。”
    • 李龙基 ,张燕 ,陈伟 ,杨阳 ,罗晨 ,肖垚 ,孙正明 ,王俊
    • 光学精密工程 2026年34卷第9期 页码:1367-1378
    • DOI: 10.37188/OPE.20263409.1367     

      中图分类号:
    • CSTR: 32169.14.OPE.20263409.1367     
    • 修回:2026-03-18 ,

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