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鲁棒全局优化的晶圆多目视觉对准方法
信息科学 | 更新时间：2026-09-11
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    • 鲁棒全局优化的晶圆多目视觉对准方法

    • A robust global optimization-based multi-view visual alignment method for wafer alignment

    • “研究团队提出基于鲁棒全局优化的多目视觉对准方法，"可以将收敛次数降至3次左右，在引入微米级（4 μm）局部靶标偏差时，AD-IoU均值仅降低0.06%"，为晶圆高精度装配提供了高效鲁棒的解决方案。”
    • 王晓东 ，陈晓浩 ，邹正苏 ，高昆榉 ，徐征
    • 光学精密工程 2026年34卷第10期 页码：1568-1579

    • DOI： 10.37188/OPE.20263410.1568     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20263410.1568     

    • 修回：2026-04-15 ，

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