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电容式三维纳米测量测头
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 电容式三维纳米测量测头

    • Capacitive 3D nanoscale measurement probe

    • “一种基于电容位移传感器的三维纳米测量测头，介绍了其在微纳米测量领域的研究进展，该团队建立了高精度三维位移检测体系，验证了该测头在微纳米尺度测量中的良好测量性能，为精密制造与检测提供了有效的技术支撑。”
    • 黄强先 ，张星月 ，郝蔚宁 ，赵志浩 ，张连生 ，程荣俊 ，李红莉
    • 光学精密工程 2026年34卷第15期 页码：2369-2377

    • DOI： 10.37188/OPE.20263415.2369     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20263415.2369     

    • 修回：2026-05-11 ，

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