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基于共架并列式双探头测量系统的平面度检测及误差补偿模型
基于共架并列式双探头测量系统的平面度检测及误差补偿模型
Flatness measurement and error compensation model based on co-frame parallel dual-probe measurement system
- “针对拼接探测器焦平面平面度检测难题,研究团队研制了共架并列式双探头测量系统,建立了多姿态鲁棒分解误差补偿模型,为实现拼接探测器焦平面平面度高精度检测提供一种有效方法。”
- 光学精密工程 2026年34卷第17期 页码:2670-2685
DOI: 10.3724/OPE.20263417.2670
- CSTR: 32169.14.OPE.20263417.2670
修回:2026-07-20
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相关机构
成都太科光电技术有限责任公司
成都精密光学工程研究中心
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室
上海大学 机电工程及自动化学院
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所


