机器视觉精密测量中的显微光学聚焦

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机器视觉精密测量中的显微光学聚焦

现代应用光学 | 更新时间：2020-07-07

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- 机器视觉精密测量中的显微光学聚焦
- Auto-focusing in optical microscopy for machine-vision-based precise measurement
- 徐征，陈聿夫，孙谦，王晓东，周宗磊
- 光学精密工程 2016年24卷第9期页码：2095-2100
- 作者机构：
  大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室, 辽宁大连 116085
- 作者简介：
  徐征(1973-), 男, 河南郑州人, 博士, 副研究员, 1997年、2000年于吉林工业大学分别获得学士和硕士学位, 2004年于大连理工大学获得博士学位, 主要从事微纳集成制造的研究。E-mail:xuzheng@dlut.edu.cn
  王晓东(1967-), 男, 黑龙江哈尔滨人, 教授, 1989年于南京航空学院获得学士学位, 1992年于哈尔滨船舶工程学院获得硕士学位, 1995年于哈尔滨工业大学获得博士学位, 主要从事微装配技术与系统、精密仪器等方面的研究。E-mail:xdwang@dlut.edu.cn E-mail:xdwang@dlut.edu.cn
- 基金信息：
  国家科技重大专项基金资助项目(2013ZX04001091)
- DOI： 10.3788/OPE.20162409.2095
  中图分类号：
- 录用：2016-4-19 ，
- 稿件说明：
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